Facility研究設備
1時間に10回程度の換気ができ、空気清浄度が確保された特別なクリーンルームや数ナノメートルの微細加工ができる高解像度電子線描画装置を単独保有・管理しています。医薬品・化粧品・食品・医療機器の原料選定から材料化、分析、成形加工、化学・機械・生物物性の評価を通して、実需化の道を通った教員から、新製品開発から知的財産化まで一貫して学べる設備・環境を研究室で有しています。
竹井研究室の4種の微細加工技術
加工装置のメリット・デメリット
ナノインプリントリソグラフィ
メリット
- 単純なプロセスで超高解像度のパターニングが可能
- 高額な装置を必要としないため初期投資が少ない
- 低コスト・高スループットの加工性を有する
- 理論上の解像度は限界なし
デメリット
- 接触法のため、成形欠陥が生じる可能性
電子線EBリソグラフィ
メリット
- 超高解像度のパターニングが可能
- 設計の自由度が高い
- 非接触法のため、低異物
- 高精度金型が製造できる
デメリット
- 加工装置が高価
- 加工に時間がかかる
フォトリソグラフィ
メリット
- 高解像度のパターニングが可能
- 非接触法のため、低異物
- 短時間で加工ができる
デメリット
- 加工装置が高価
インクジェット
メリット
- 加工装置が安価
- 非接触法のため、低異物
- 低コストのパターニングが可能
デメリット
- 低解像度
