成膜装置

• 分類：分析

  スパッタ装置

  メーカー：真空デバイス

  型番：

  MSP-20-UM

  どんなことができるの？
  磁界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用したマグネトロンスパッタ装置です。アルゴンガス導入が付いているためより高純度な貴金属膜をコーティング可能なので、SEM観察試料などの導電処理、電極作成や酸化防止膜の作成などに用いられます。ナノメートルレベルの表面形状を観察するために前処理で使用しています。

  

  名称

  MSP-20-UM

  電極―試料　　 　　　　ステージ間隔

  40 mm

  試料ステージ

  サイズ：φ 50 mm(フローティング方式)
  傾斜角度：0-45°
  回転速度：60 rpm

  試料サイズ

  ≦φ50 mm,   高さ≦20 mm

  雰囲気ガス

  空気 または アルゴン

• 分類：分析

  スピンコーター

  メーカー：ミカサ

  型番：

  Opticoat MS-A100
  Opticoat MS-B150

  どんなことができるの？
  高速回転の遠心力を使い平面な基材に均一な塗膜を構成させる装置です。薬液の粘度、温度など環境の変化や求める均一性の精度により高速回転の条件を変えて膜厚のムラがないように塗布します。水溶性レジストやナノインプリント用密着性・離型性材料の塗布に使用しています。

  

  名称

  Opticoat MS-A100, MS-B150

  最大基板サイズ

  75×75 mm基板 （MS-A100）
  100×100 mm基板 （MS-B150）

  回転数

  20-8,000 rpm（実回転数表示）

  回転精度

  ±1 rpm（負荷時）

  使用真空圧

  -0.08-0.1 MPa