評価装置

• 分類：分析

  超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

  メーカー：日立製作所

  型番：

  Regulus® 8100

  どんなことができるの？
  光学顕微鏡は可視光線を使うのに対して、電子顕微鏡は電子線を使用します。分解能が非常に優れているため、ウイルス，染色体やDNAなどの微細なものを観察するのに便利ですが、試料室内を真空にしなければならないため、観察する標本を生きたまま観察することができない特徴があります。超微細マイクロニードルや抗菌性ナノトゲトゲ機能性フィルムと共に、極端紫外光・電子線レジストやガス透過性多孔質金型の表面加工形状を観察しています。

  

  名称

  Regulus8100

  二次電子分解能

  0.8 nm（加速電圧 15 kV）
  1.1 nm（照射電圧 1 kV）

  加速電圧

  0.5-30 kV

  照射

  0.1-2 kV

  電圧倍率

  20-1,000,000倍

  ステージ制御

  3軸モーター駆動

• 分類：分析

  走査型電子顕微鏡 (3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡)

  メーカー：キーエンス

  型番：

  VE-7800

  どんなことができるの？
  電子線を試料に照射し、試料表面を観察する装置です。光学顕微鏡と比べ優れた分解能により、ナノオーダーで加工されたサンプルの構造を詳細に観察・評価します。超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡の事前評価や揮発性物質を含有する恐れのある素材の表面形状を観察しています。

  

  名称

  VE-7800

  倍率倍

  15-10,000倍

  観察像

  2次電子像、反射電子像

  最大試料サイズ

  Φ 64 mm

  計測機能

  2点間距離、角度など

• 分類：分析

  SPM走査プローブ顕微鏡

  メーカー：島津製作所

  型番：

  SPM-9700
  SPM-9700HT

  どんなことができるの？
  探針の走査により表面構造を観察する装置です。微小な先端を持つ探針を観察サンプル上にセットし、ステージを動かして探針の上下方向変位を追跡・記録します。そのデータを計算機で処理することで、表面構造を立体的に示すことができます。大気下での細胞シートや抗菌性ナノトゲトゲ形状・表面電位の測定をしています。

  

  名称

  SPM-9700, SPM-9700HT

  測定モード

  コンタクト/ダイナミック
  /水平力/位相　等

  スキャナ

  10 nm（HT専用スキャナ）
  30 nm（中域スキャナ）
  125 nm（広域スキャナ）

  CCDカメラ付き光学顕微鏡

• 分類：分析

  高分解能共焦点レーザー顕微鏡

  メーカー：レーザーテック

  型番：

  OPTELICS HYBRID

  どんなことができるの？
  サンプル表面をレーザーで走査し、焦点があった位置の反射光量をもとに画像を得る顕微鏡です。zステージを昇降させ、それぞれの画像を合成することで、焦点深度の深い画像を得ることができます。ガス透過性多孔質金型や射出成形品の表面加工形状を測定しています。

  

  名称

  OPTELICS HYBRID

  観察機能

  レーザー高分解能、
  カラーコンフォーカル観察

  測定機能

  高さ　表面粗さ　形状特徴
  光干渉　反射分光膜厚

  波長選択

  436 nm, 486 nm, 514 nm,
  546 nm, 578 nm, 633 nm

  分解能

  0.01 nm（幅）
  0.1 nm（高さ）

• 分類：分析

  共焦点レーザー顕微鏡

  メーカー：レーザーテック

  型番：

  OPTELICS H1200

  どんなことができるの？
  サンプル表面をレーザーで走査し、焦点があった位置の反射光量をもとに画像を得る顕微鏡です。zステージを昇降させ、それぞれの画像を合成することで、焦点深度の深い画像を得ることができます。水溶性レジストやナノインプリント転写材のマイクロパターン形状の観察を行っています。

  

  名称

  OPTELICS H1200

  走査速度

  可変フレーム
  （最速120フレーム/sec）

  波長選択

  R, G, B

  測定機能

  3D、表面粗さ2D・3D
  プロファイル測定

  高さ分解能

  0.1 nm

  ※1200万画素によるリアルカラーコンフォーカル画像

• 分類：分析

  顕微赤外分光計 (FT-IR)

  メーカー：パーキンエルマー

  型番：

  Spectrum Two
  Spotlight 200i
  

  どんなことができるの？
  FT-IR は赤外線を用いて分子結合を同定し化学物質に幅広く用いられます。なかでもATR法（全反射法，内部反射法）は前処理が不要であることや試料の表面情報が得られ、顕微鏡を組み合わせることによって、微小物や微小領域の測定・マッピング測定も可能です。化粧品・医薬品の異物分析や水溶性レジストコーティング膜の面内均一性の評価に使用しています。

  

  名称

  Spectrum Two 
  Spotlight 200i

  測定モード

  透過、反射、ATR

  検出器

  MCT検出器

  波数範囲

  7800-600 cm^-1