加⼯装置

• 分類：分析

  高解像度電子線描画装置

  メーカー：クレステック

  型番：

  CABL-9000C Series

  どんなことができるの？
  反応性の気体（エッチングガス）やイオン、ラジカルによって材料をエッチングします。ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行えます。極端紫外光レジストの事前感度・解像度の確認だけでなく、電子線ナノパターニング、医療用流路分析チップ、及びナノインプリントマスターモールドの開発に使用しています。

  

  名称

  CABL-9000C Series

  描画方式

  ベクスタスキャン方式

  基盤寸法

  4, 6, 8インチ対応

  ビーム径

  2 nmφ 以下

• 分類：分析

  電子線描画装置

  メーカー：クレステック

  型番：

  CABL-2000

  どんなことができるの？
  反応性の気体（エッチングガス）やイオン、ラジカルによって材料をエッチングします。ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行えます。水溶性レジストの電子線リソグラフィや電子線による材料感度の測定に使用しています。

  

  名称

  CABL-2000

  描画方式

  ベクタ走査及びラクタ走査

  基盤寸法

  最大 φ 4″

  描画領域

  8 nm x 8 nm

  電子銃

  TFE ZrO/W 電子銃　

  加速電圧

  1-30 kV

  分解能

  10 nm

• 分類：分析

  電子線照射装置

  メーカー：岩崎電気

  型番：

  EC90/10/50L

  どんなことができるの？
  電子線をサンプルに向かって照射する装置です。電子線の作用による重合反応を利用したサンプルの硬化や、細菌のDNAを破壊することによる滅菌が行えます。医療機器、水溶性レジスト、及び半導体材料の多種多様な素材表面の洗浄・表面改質に使用しています。

  

  名称

  EC90/10/50L

  加速電圧

  50-90 kV

  ビーム電流

  0.1-90 kV

  有効照射幅

  100 mm

• 分類：分析

  コンパクトエッチャー

  メーカー：サムコ

  型番：

  FA-1-TK

  どんなことができるの？
  反応性の気体（エッチングガス）やイオン、ラジカルによって材料をエッチングします。ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行えます。ガラス基板などの表面処理もできます。プラズマエッチング速度の測定に使用しています。

  

  名称

  FA-1-TK

  試料サイズ

  最大 φ 4インチ

  試料台

  オープンロード式

  エッチングガス

  四フッ化メタン、酸素

  ※卓上設置可能

• 分類：分析

  マスク密着露光システム

  メーカー：リソテックジャパン

  型番：

  LTCET-500

  どんなことができるの？
  密着露光とはマスクとウェーハを密着させて露光する方式で、シンプルであるにもかかわらず真空にて密着の場合は1µm位のパターンまで形成することが出来ます。水溶性レジストや光硬化パターニング材料のフォトリソグラフィに使用しています。

  

  名称

  LTCET-500

  サイズ

  ４インチウエハー

  面内均一性

  ±20％以下

  光源

  200 W Xe水銀ランプユニット EXCURE4000

  露光波長

  254, 365, 436nm バンドパスフィルター使用

  露光ステージ

  ウェハ・マスク吸着方式

• 分類：分析

  熱・UVハイブリットナノインプリント装置

  メーカー：リソテックジャパン

  型番：

  LTNIP-500T

  どんなことができるの？
  微細構造を持つモールドを材料に押し当て、熱や光で硬化させることで、微細加工を行う装置です。真空チャンバ内に金型と材料をセットした冶具を投入後、設定に従い真空脱気、加圧、紫外線照射、加熱を行います。ガス透過性多孔質金型を用いた真空加圧可能な熱・光インプリント成形加工に使用しています。

  

  名称

  LTNIP-500T

  モールドサイズ

  25-40 mm

  ウエハサイズ

  4-6 インチSi

  UV照射

  0.5 mW/cm²

• 分類：分析

  プリンテッドエレクトロニクス用装置

  メーカー：マイクロジェット

  型番：

  Labo Jet-900

  どんなことができるの？
  電子デバイスやバイオ用の各種液材料の吐出が可能な高性能1ノズルヘッドを搭載しており、高精度な点・線・面のパターン描画はもちろんスポッティングや分注もできます。よって電子デバイスの試作や液材開発から各種バイオチップの試作まで幅広く行えます。細胞や生体適合性素材を用いたマスクレスマイクロ加工をしています。

  

  名称

  Labo Jet-900

  搭載ヘッド

  GlassJetヘッド （IJHE30）

  吐出液滴量

  5-2000 pL/滴

  突出液

  試薬、ナノ粒子液、タンパク、 水系溶剤系インクなど

  パターンニング領域

  W68 × D80